A szilícium-nitrid (Si₃N4) kerámia szubsztrátumokat kiváló hősokkállóságuk és mechanikai szilárdságuk miatt egyre gyakrabban használják EV, IGBT, SiC tápmodulokban és energiatároló rendszerekben.
A hagyományos gyártáshoz általában külön gépekre van szükség a fúráshoz, a karcoláshoz és a kontúrvágáshoz, ami ismételt kezeléshez, többszörös igazításhoz és magasabb gyártási költségekhez vezet.
Integrált lézeres feldolgozó platformunk ezeket a műveleteket egyetlen beállítással hajtja végre, csökkentve a kezelést, javítva a pozicionálási pontosságot és leegyszerűsítve a gyártást.
Egy platform, több folyamat
Egyszeri-vákuumszorítás és CCD-beigazítás után a gép automatikusan végrehajtja:
›››Lézeres fúrás
›››Lézeres írás
›››Kontúr vágás
Egyetlen koordinátarendszer használata a folyamat során minimálisra csökkenti az igazítási hibákat, és csökkenti az ismételt kezelés által okozott repedések vagy rejtett repedések kockázatát.
Két lézer opció
150 W-os QCW szálas lézer
Ideális:
›››Kontúr vágás
›››Panel szétválasztás
›››Húzás
›››Közepes -vastagságú Si₃N₄ szubsztrátok (0,4–1,2 mm)
Előnyök
›››Nem szükséges szénbevonat
›››Magas vágási hatékonyság
›››Optimalizált rétegvágás a hőterhelés csökkentése érdekében
355 nm-es UV nanoszekundumos lézer
Ideális:
›››Precíziós mikrofúrás
›››Jó írás
›››Vékony aljzatok (0,1-0,8 mm)
›››Nagy{0}}sűrűségű kerámiacsomagok
Előnyök
›››Kis hőhatás-zóna
›››Sima lyukfalak
›››Jobb élminőség
›››Nagyobb pontosság a mikrofunkciókhoz
Opcionális automatizálás
Az automatikus be- és kirakodás opcióként elérhető.
Az ügyfelek választhatnak kézi betöltést a prototípus elkészítéséhez, vagy hozzáadhatnak egy automatizálási modult a nagy-volumen, 24 órás gyártáshoz, a következőkkel:
›››Több{0}}rétegű magazinok
›››Vákuumos kezelés
›››Automatikus gyűjtés
›››MES csatlakozás
Szilícium-nitridhez tervezve
A megmunkálás közbeni hőfeszültség csökkentése érdekében a rendszer a következőket tartalmazza:
›››Vákuumos tokmány
›››Nagy{0}}nyomású nitrogén-asszisztens
›››Víz{0}}hűtéses munkaasztal
›››Rétegenkénti--rétegű megmunkálási stratégia
Ezek a tulajdonságok javítják a megmunkálási stabilitást és csökkentik a repedésképződést.
QCW Fiber vs. UV Laser
| Funkció | QCW Fiber | 355 nm UV |
| Kontúr vágás | ★★★★★ | ★★★☆☆ |
| Mikrofúrás | ★★☆☆☆ | ★★★★★ |
| Lézeres írás | ★★★★★ | ★★★★★ |
| Vékony szubsztrátumok | ★★★☆☆ | ★★★★★ |
| Legjobb For | Nagy sebességű-vágás | Nagy{0}}precíziós megmunkálás |
Alkalmazások
A platform alkalmas:
›››Szilícium-nitrid (Si₃N4)
›››Alumínium-oxid (Al₂O₃)
›››Alumínium-nitrid (AlN)
A tipikus alkalmazások közé tartoznak az IGBT modulok, a SiC tápegységek, az elektromos járművek elektronikája, az energiatároló rendszerek, az ipari teljesítménymodulok és az RF kerámiacsomagok.
Következtetés
Az egyetlen beállítással végrehajtott fúrás, karcolás és vágás révén az integrált lézerplatform leegyszerűsíti a szilícium-nitrid gyártást, miközben javítja a pontosságot és csökkenti a kezelhetőséget.
Elérhető akár a150 W-os QCW szálas lézervagy a355 nm-es UV nanoszekundumos lézer, praktikus megoldást kínál a nagy mennyiségű{0}}gyártáshoz és a precíziós kerámiafeldolgozáshoz egyaránt.(Ingyenes mintavizsgálat áll rendelkezésre. Érdeklődni szívesen.)
