Az aljzat vastagságával, mérettűrésével és költségvetési korlátaival kapcsolatos különféle ipari követelmények teljesítése érdekében afejlett kerámiaA szektor három elsődleges lézeres feldolgozási konfigurációra támaszkodik:
1. UV nanoszekundumos lézeres vágás(355 nm - The Balanced Mass-Production Solution)
Ez a konfiguráció optimális kereskedelmi egyensúlyt biztosít a kezdeti berendezések megtérülése, áteresztőképessége és hozama között, így ez az elsődleges igásló a kereskedelmi gyári padlók számára.
Alapvető alkalmazások:0,1–1,0 mm-es szabványos AlN hőhordozók, AMB/DBC réz-bevonatú kerámiák, 5G RF alegységek, elektronikus cigarettafűtő elemek és vastag{4}}filmes áramkörök.
Hogyan működik:Az alumínium-nitrid kivételesen magas elnyelési arányt mutat a rövid{0}}hullámhosszú, 355 nm-es UV-fényben. A rendszer nagy sebességű-rétegű, több-menetes szkennelési megközelítést alkalmaz a lépésenkénti vágási mélység mikronszintű szabályozására. A 99,99%-os nagy-tisztaságú nitrogén koaxiális gázsegéddel párosítva a hőhatású zóna (HAZ) és a termikus feszültség felhalmozódása az abszolút minimumon van.
Szabványos gyártási munkafolyamat: CAD-fájl bevitele ➔ CCD Vision automatikus-Jelölési pontok igazítása ➔ Recepthívás az aljzat vastagsága alapján ➔ Nagy-sebességű réteges durva vágás ➔ Kontúr finomvágás ➔ Nagy- S terhelésmentesítés ➔ Nyomás eltávolítása.
Műszaki mutatók: Az ipari -minőségű, 5–15 W-os UV-lézerek használatakor az élforgácsolás szigorúan a szabványos kereskedelmi ipari tűréshatárokon belül történik.
2.Ultragyors femtoszekundumos/pikoszekundumos lézervágás(A fejlett „nulla{0}}hő” megoldás)
Ez a prémium határmenti eljárás kivételesen sima oldalfalakat ér el, gyakorlatilag nulla felszín alatti mikro{0}}repedéssel, így ideális olyan alkatrészekhez, amelyek zéró toleranciával rendelkeznek a hőkárosodással szemben.
Alapvető alkalmazások: Félvezető-minőségű AlN egy-kristályos hordozók, mély UVC-LED lapkák és nagy-értékű, élvonalbeli-mikroelektronikai alkatrészek.
Hogyan működik:Az ultra{0}}rövid impulzusokat használó módszer egy „abláció-vezérelt” hidegfeldolgozási mechanizmuson alapul. A lézer olyan gyorsan rakja le az energiát, hogy az anyag azonnal elpárolog, mielőtt a hő a környező kerámiamátrixra vezetne.
Iparági állapot:Ez a folyamat elsősorban a K+F-laboratóriumokra, a védelmi ágazatokra és a csúcsminőségű{0}}félvezetőgyártásra irányul. A több-millió dolláros felszerelési ráfordítás és a tisztatéri létesítményekre vonatkozó szigorú követelmények (ellenőrzött hőmérséklet, páratartalom és por) miatt a szabványos, alacsony-hányadú tömeggyártásban való alkalmazása továbbra is korlátozott.
3. QCW szálas lézervágás (a nehéz{1}}megoldás durva és vastag lemezekhez)
Ez a folyamat előnyben részesíti a nyers teljesítményt és a vágási sebességet, így rendkívül hatékony a masszív, nagy{0}}formátumú szerkezeti elemek esetében.
Alapvető alkalmazások:1,0 mm-nél vastagabb AlN szigetelő szerkezeti elemek, ipari, magas hőmérsékletű tégely-szeletelés és nagy-formátumú nyers kerámialap kockázás.
A folyamat jellemzői:Nagy teljesítmény és gyors előtolás jellemzi. Noha szélesebb bevágásokat és nagyobb hőhatású Az infravörös szálas lézerrel megmunkált alkatrészek általában másodlagos köszörülésen vagy polírozáson mennek keresztül a durva megmunkálási szakaszban.
